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第121章 三大件的解決方案 (2 / 3)

這麼做的效率無疑會高很多,

而且升級後的生產線,估計連解析專案都沒有,

因為裡面的大部分技術,康馳在解析光刻機的時候,就已經得到了,他本人擁有非常大的解釋空間。

唯一的缺點就是,需要他在接下的專案中,進行一定的混淆視聽,把這些拆分開的元件,神不知鬼不覺地摻到整個專案裡去。

嗯,

就是欺負嚴輝他們對光刻機沒啥研究,

到時候估計也是康馳讓他們幹什麼,他們就幹什麼,思考空間並不多。

至於光刻機最後的一個關鍵系統,則是承載矽片的雙工件臺系統。

它的工作原理很簡單,就是在光刻中不斷的挪動矽片的曝光部位,但其中的技術含量其實非常大。

因為這個工作平臺必須快、準、狠。

速度,決定了光刻機的效率,

移動太慢了,光刻機的產量就不行,

這就要求它,在高速移動後,還得迅速且精準地停下,

&n以內,

但凡偏差大一點,整個晶圓就直接報廢了!

這啥概念?

大概就是一輛高速行駛的汽車,突然緊急剎停,然後停下位置誤差還不能超過1毫米。

不過這個難點,在今年5月份的時候,剛好被鉿工大給搞定了,

他們研發出來的真空高速超精鐳射干涉儀,位移的解析度達到了驚人的5pm,位移誤差控制在了30pm!

&n才等於1nm!

&n的位移誤差,簡直牛逼到不行!

康馳簡直懷疑,他們是不是和自己一樣開了掛……

講真,華國能人還是挺多的,

如果不靠系統,康馳自己雖然也有一定的把握可以攻克這種技術,但時間就不知道要多久了……

所以康馳一直也不斷地在提醒自己,雖然系統確實好用,但自己學習和理解的腳步同樣不能停下。

這不但是為了在解析技術的時候,減輕自己的痛苦,免得突然暴斃,更是為以後萬一出現精通點不夠,需要自研的情況出現時,不至於兩眼一抹黑啥也幹不了。

總之EUV光刻機的大部分技術難點,其實華國都已經攻克或即將攻克了,只不過具體哪些能夠復刻落地量產,還是個未知數。

為了得到答案,康馳特地打了個電話給呂首長。

當聽到康馳問光刻機的事情,呂首長頓時就打起了精神,連忙問道:“你準備搞光刻機研發?”

“嗯,有這個想法。”

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