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第121章 三大件的解決方案 (1 / 3)

EUV光刻機的核心技術,主要由三大系統構成。

首先是EUV光源系統,這個系統負責製造光刻過程中,需要用到的特殊光線。

從第一代的UV光刻機,到第五代的EUV光刻機,光線的波長也從436nm,縮短到了13.5nm,目前所有的光刻機,就是透過光線的不同,來區分技術等級的。

這其中主要涉及到的原理,就是光學中光線波長和清晰度的關係。

最簡單的道理,就是進入黃色的鎢絲燈房間,大部分人都會感覺視線昏暗,

哪怕多加幾個燈泡,也始終感覺沒有白色的LED燈那麼明亮和清晰。

這就是因為黃色光的波長,要遠高於白色光,

光線的波長,就像是海浪一樣,越大的波浪,拍打在海防堤上的水位高低起伏就越大。

而這個水位的高低落差,換成在光學領域,就成了影響陰影邊緣清晰度的重要因素。

因此,想要達到越小製程的晶片工藝,就需要波長越短,越無限接近絕對直線的光。

而在EUV光源技術上,據康馳目前所能查到的資料來看,國內的常春光所應該也已經接近突破的邊緣了,但具體到了哪一步,康馳也不清楚。

他打算先試著瞭解一下情況,

如果條件允許,價格合適的話,他可能會直接向他們進行採購,

哪怕技術稍微不達標,採購過來自己再進行改良最佳化,也能節省大量的時間和精力。

畢竟一臺光刻機裡面,有足足十幾二十萬的零部件,全靠大唐重工自己來做的話,那得搞到猴年馬月去。

而向他們採購,既不浪費他們的科研成果,還能利用上他們的生產力,

也算是共贏了。

所以康馳這次,並不排斥自己成為組裝、除錯和改良的角色。

放著華國這麼完整的產業鏈不用,反倒自己去搓每個螺絲,不但浪費國內這麼好資源和基礎,更是閉門造車吃獨食的表現。

而能用本國的產業鏈,來完成一臺光刻機的所有零件製造,全球有且只有一個國家才有可能做到,

那就是華國。

換成老M也不行。

他們也沒辦法只在本國,就找到光刻機全部零部件的供應商,得全球多國合作協同才行。

而巨大的資源協調成本,更是會大大加重整個研發專案的費用和時間,

這也是華國的很多產品,能做到成本遠低於國外廠商的主要原因之一。

總之,無論常春光所有沒有突破EUV光源的技術,康馳都可以嘗試著借用他的研發製造能力,來迅速獲得一套可行的光源系統。

現在光刻的光有了,

下一步就是把光,透過一個光學系統,收集並投影到塗上了光刻膠的矽片上面。

這個光學系統,也是整臺光刻機中,造價成本佔比最大的。

這部分康馳準備對大秦光學的鏡頭生產線,進行升級,然後把它給拆了,直接獲得光刻機鏡片和反射鏡製造,所需要的大部分裝置零件。

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