武則天謀奪李唐社稷，翦除唐朝宗室，引起諸王不安，欲起兵對抗，還未有共識的時候，博州刺史、琅邪王李衝，於博州舉兵；豫州刺史、越王李貞起兵豫州，以呼應李衝。武則天分遣丘神積、魏崇裕討伐，李衝起兵七日即敗死，李貞兵敗自殺。武則天想盡除李氏諸王，使周興等展開審訊，逼迫韓王李元嘉、魯王李靈夔、黃國公李撰、東莞郡公李融、常樂公主等自殺，他們的親信也被殺死。
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武則天的侄子武承嗣命人鑿白石為文曰：“聖母臨人，永昌帝業。”號稱在洛水中發現，獻給武則天，武則天大喜，為石取名為“寶圖”，加尊號為“聖母神皇”。武則天親自拜洛受圖，史稱此時“皇帝、皇太子皆從，文武百官、蠻夷酋長，各依方位而立。珍禽奇獸，並列於壇前。文物、儀仗”，被評價為“自有唐已來，未有如此之盛者也”。命人於洛陽建造的明堂落成，號“永珍神宮”，放任百姓入內參觀，吐蕃等國聽聞明堂建成，紛紛遣使來賀。又命面首薛懷義鑄巨大雕像，其小指尤容數十人，在明堂北起五層高的天堂來收納雕像。
東魏國寺僧人法明等撰《大雲經》四卷，稱武則天是彌勒佛化身下凡，應作為天下主人，武則天下令頒行天下，命兩京諸州各置大雲寺一所，藏《大雲經》，命僧人講解，並將佛教的地位提高在道教之上。官民、宗戚、四夷首領、沙門、道士向武則天請求改國號為周，賜皇帝姓武的要求，李旦亦自請賜姓武氏。不久，群臣奏稱“鳳集上陽宮，赤雀見朝堂”，武則天方準所請，登上則天門樓，大赦天下，改唐為周，改元天授，定都洛陽，以長安作為陪都，上尊號曰聖神皇帝，“以皇帝旦為皇嗣，賜姓武氏”，又在神都立武氏七廟。
武則天引見存撫使所舉之人，不論賢愚，全部提拔，授予各種官職進行試用，試官制度由此開始。吐蕃党項部落萬餘人歸附武周，武則天將其分置十州，吐蕃首領曷蘇亦率其部落請求歸附，武則天派張玄遇率領精兵二萬迎接。不料，曷蘇事情洩漏，被國人擒回，此時恰逢羌族首領昝捶率領八千餘人歸附，張玄遇以其部落置萊川州。派大將王孝傑與阿史那忠率軍出征西北，王孝傑大破吐蕃，收復龜茲、疏勒、于闐、碎葉等安西四鎮，設安西都護府於龜茲。在群臣一致反對的情況下，武則天毅然對安西四鎮增兵三萬，這一措施使安西四鎮從此安定，直到唐玄宗時再無反覆。
武則天在永珍神宮親自主持祭典，自制宮廷樂舞《神宮大樂》，選用舞者九百人，聽信讒言，殺太子李旦的妃子劉氏、德妃竇氏，李旦幾遭誣陷，險些受禍；又降封李旦之子、皇孫李成器及恆王李成義等為郡王。
西突厥擁立阿史那俀子為可汗，聯合吐蕃入侵武周，後突厥默啜可汗率眾入侵，室韋亦反，將軍李多祚擊破室韋叛亂。王孝傑破吐蕃孛攵論贊刃、突厥可汗俀子等各三萬餘人，碎葉鎮守使韓思忠大破泥熟俟斤、突厥施質汗、胡祿等，繼而攻佔吐蕃泥熟沒斯城。四夷酋長在波斯國大酋長阿羅憾的號召下請求用銅鐵鑄造天樞，立於端門外，銘紀武則天功德，黜唐頌周，武則天同意。
薛懷義因失寵而密燒天堂，延及明堂，致使二堂俱毀，她遂下詔重建明堂，重建的明堂落成，號曰“通天宮”。武則天鑄成九鼎，從玄武門曳入宮城，令宰相、諸王率南北衙宿衛兵十餘萬人，連同宮中儀衛大牛、白象共同拖曳。武則天又作《曳鼎歌》，以令其相互唱和，最終將九州鼎依照各自方位列於明堂廷內。
酷吏來俊臣欲羅告武氏諸王及太平公主，又欲誣李旦、李顯與南北衙共同謀反，擬一網打盡，武氏諸王與太平公主都十分害怕，共同揭發其罪行，下獄處以極刑。來俊臣兇狡貪暴，殺人不可勝計，“贓賄如山，冤魂塞路”，武則天亦知天下憤怨，下令歷數其罪狀，並沒收其家財。
武承嗣、武三思謀求為太子，幾次使人對武則天說：“自古天子沒有以異姓當做繼承人的。”武則天猶豫未決，宰相狄仁傑對武后說：“姑侄之於母子，哪個比較親近？陛下立兒子，那麼千秋萬歲後，會在太廟中作為祖先祭拜；立侄子，那麼從未聽說侄子當了天子，把姑姑供奉在太廟。”又勸武則天召還李顯，自此後，武則天無意立武承嗣、武三思為太子，並將李顯秘密接回洛陽。
控鶴監內供奉吉頊、張易之、張昌宗都曾請求武則天立李顯為儲君，皇嗣李旦亦請求遜位於李顯。在來自各方面擁護李唐的壓力下，武則天進一步認識到人心所向的是李唐宗室，如果再一意孤行，就會有喪失人心的危險。而在後來一次徵兵中，“初募兵，無有應者，聞太子顯行，北郊山頭皆兵滿，無容人處。”此事更加說明李唐才是眾望所歸，在經過多方權衡之後，武則天最終決定立李顯為皇太子。
武則天解決了繼承人的問題後，志得意滿，加上年齡增長，開始耽於享樂，大修宮殿、佛寺。武則天的面首張易之、張昌宗兄弟年少美姿容，常傅朱粉、衣著華麗，武承嗣、武三思等都爭著追捧他們，甚至為他們執鞭牽馬。當時，武則天已經進入暮年，老病纏身的她長時間不能上朝，對朝政的控制力下降，她將二張兄弟當做耳目。二張逐漸插手朝政，陷害宰相魏元忠，不僅跟大臣結怨，也使得武則天迴歸李唐、傳位太子的形勢發生逆轉，引起了政局的複雜化，武則天母子、君臣關係也因此空前緊張起來。據史料記載，武則天的孫女永泰公主，因與丈夫武延基和邵王李重潤一起議論二張，遭人構陷，武、李被處死，永泰公主受驚而死。
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武則天病篤，在迎仙宮臥床不起，只有張易之、張昌宗兄弟侍側，宰相張柬之、崔玄暐與大臣敬暉、桓彥範、袁恕己等，交結禁軍統領李多祚，佯稱二張謀反。於是，發動政變，率禁軍五百餘人，衝入宮城，殺死二張，隨即包圍武則天所寢集仙殿，要求她退位，武則天被迫禪位於太子李顯，隨後徙居上陽宮。李顯復位後，率百官到觀風殿問武則天起居，此後每十日一往，又上武則天尊號為“則天大聖皇帝”，武週一朝結束。唐朝復辟，百官、旗幟、服色、文字等皆復舊制，複稱神都為東都。
武則天在上陽宮的仙居殿病逝，享年八十二歲，遺詔省去帝號，稱“則天大聖皇后”，並赦免王皇后、蕭淑妃二族以及褚遂良、韓瑗、柳奭三人的親屬，與高宗合葬乾陵。
武則天統治時期，社會是相對安定的，農業、手工業和商業都有了長足的發展，戶口也由唐高宗的380萬戶，增加到唐中宗的615萬戶，平均每年增長0.721，這在中國古代是一個較高的增長率。武則天還改制音樂機構，將內教坊改為雲韶府，習雅樂，促進宮廷音樂的發展，執政期間是唐代音樂過渡階段，上承唐初的雅樂，下為唐中期燕樂、俗樂奠定基礎。執政時期至武周建立後，與周邊各國的區域性戰爭，時起時伏，以武周勝利為多，武則天在位15年中，基本上維護了帝國的統一。
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