“老胡,來。咱們一起合影留念!”這時,董教授朝正在觀看工作站顯示屏的胡明鎮,使勁的招手。
“對!這麼重要的時刻,咱們一定要記錄下來。”
“小梁、老郝,你們都一起來合影留念。”
董教授、單教授等一干院士級專家教授們都非常興奮,抑制不住內心的激動。他們都在手舞足蹈的說著話。
光刻矽晶圓片的速度非常快,兩分鐘不到就可以給一片8英寸的矽晶圓片完成曝光流程工藝。因為這次給朱雀·酷睿I晶片做流片工程,其實就是一次測試。胡明鎮沒安排批次生產,只讓手下的團隊準備了10片矽晶圓片。
在董教授等人邀請他合影留念的時候,正在工作的KrF光刻機已經完成了給第一片矽晶圓片曝光照相的流程,用時在95秒左右。這個速度在目前來說應該是全球第一,要遠遠超過那三臺從米國運來的KrF光刻機。
不但如此,胡明鎮設計的這臺第三代光刻機,一直秉承了鳴芯製造公司的傳統,採用雙工製程工藝,擁有兩個工作臺。
在劉教授這幫人激動不已手舞足蹈的時候,這臺光刻機的鐳射頭已經挪動位置,轉到另外一個工作臺上開始掃描掩膜片,給矽晶圓片曝光。
於此同時,另外一隻檢驗鐳射頭開始工作,給已經曝光好的矽晶圓片做檢驗,執行矽晶圓片蝕刻工藝前的驗片製程工藝。
這一套製程工藝都是一鳴集團公司的Foundry製程專利技術,一般情況下是不對外開發的。
劉教授、董教授和單教授等一般院士專家,也是沾了光,要向總部首長彙報全國首臺第三代光刻機科研成果,才得以在這麼機密的環境裡近距離觀看晶片光刻製程工藝流程。所以這幫人非常激動,有點把持不住自己。
看了看這些個鬢髮花白的專家教授,胡明鎮含著笑微微一搖頭,“老劉,合影留念的事情咱們不著急,等驗片結果出來再說吧。”
晶片光刻、驗片都是微觀的精密工藝,用肉眼是不能檢驗出結果。只能透過電腦模擬顯示光刻流程和驗片流程是情況。
梁宋松此時的工作就是在觀察晶片掃描光刻的驗片資料結果,兩隻眼睛一眨不眨的盯著工作站的顯示屏。突然,他大笑一聲,“成了,老師。第一片矽晶片光刻成品率達到百分之一百!”
說完這些,他一躍而起,從電腦轉椅上跳了起來。
雖然說光刻流程工藝僅僅是晶片流片製程工藝的第一步,後續的工序仍然會降低晶片成品率,但百之一百的成功率還是值得慶賀的。
“百分一百的成品率?這麼厲害?”劉教授聽到這個資料,頓時有點瞠目結舌了。
其他的專家教授們也是如此,頓時都跑到那臺工作站的顯示屏旁邊,想要一睹為快。
此時此刻,電腦螢幕上顯示的一組組圖形比對資料,並沒有什麼晶片物理圖形,不是很直觀。但那些一組組的比對資料卻可以明確的指出,第一片矽晶圓片的曝光光刻成功率。
“各位專家,我們這臺光刻機採用掃描式曝光製程工藝,其原理和影印機的掃描流程很像。當鐳射頭從掩膜片的上方掃過,鐳射就把掩膜片上的物理電路圖曝光到矽晶圓片的光刻膠塗層,留下電路圖的影像……”90看