此時,光刻車間的櫥窗裡,那臺經過改造的光刻機正在工作,鐳射頭經過改造,罩著一個燈泡狀的透明小護罩。
這個小護罩裡有一半的透明液體,是用來折射鐳射的。胡明鎮告訴許振鳴取得突破的進展,就是說這個透明的小護罩。
這種方式就是浸潤式光刻製程,屬於晶片製造的foundry工藝。各家企業都不一樣,都有自己的特有技術。
所以說,同樣的光刻機用在不同的企業,生產出來的晶片精度級別也不一樣。
在另一個時空,foundry工藝最牛的是灣灣苔機電公司,其次是米國英特爾和高麗國三新電子。這三家企業是全球巨無霸的級別,再其次才是島國人。
大陸的中芯國際就慘不忍睹了,裝置跟人家一個級別,產品比人家落後三代左右。到了這種份上,你也別再說老外採用針對性的技術封鎖。有最好的裝置做不出最好的產品,是你自己的無能吧。
所以說,許振鳴才不希望鳴芯製造公司會走到那一步,在不斷燒錢讓章釹金和胡明鎮的團隊搞foundry工藝創新。
“出來了,出來了!第三片實驗工程片已經下線。”這時,一位穿著白大褂的工程師喜滋滋的來報喜。他手中拿著一塊半成品的晶片,朝章釹金和胡明鎮揚了楊。
這塊晶片還沒有封裝,但已經能透過儀器來測試物理電路圖的可靠性。若是漏電率太高了,這塊晶片只能報廢。
而finfet製程工藝,就是能減少漏電率的一種多重複光刻技術。是以,胡明鎮迫不及待的說:“走,我們去實驗室檢驗這塊3號樣品。”
1號和2號樣品,他都親自測試過,效果很不錯。0.6微米級別的光刻機,已經達到0.36微米級別,其實已經成功了。
但胡明鎮還不滿意,認為透過浸入式光刻工藝,最少也能達到0.35微米的精度級別。理論上,還能達到0.25微米的精度。
若能做到那種加工工藝,一鳴集團公司馬上就能生產世界上最快的cpu。即便米國的英特爾公司也不能跟一鳴集團公司相比。
所以說,胡明鎮才忍不住跟許振鳴打電話報喜。這個電話如同催命金牌,一道令牌就把許振鳴從遼東省給催回來了。
“不著急老胡,等4號晶片下線以後一道做試驗豈不更好?那樣省錢。”而這時,章釹金卻笑嘻嘻的提議,讓胡明鎮注意節省費用。
光刻機一開張,燒掉的就是鈔票。同樣如此,晶片測試臺一開張,燒掉的還是鈔票啊。
因為此,聽到章釹金的提醒以後,胡明鎮點了點頭,“是這個道理。”
許振鳴批准給他的兩個億已經被燒掉了。按照這種節奏下去,還要燒到一個億才能確定製程工藝方案。所以說胡明鎮醒悟過來,也沒那麼激動了。
但這時,許振鳴卻毫不猶豫的一擺手,“胡總,何必再等4號晶片?我也比較著急,想要知道這次試驗的結果吶。”他示意胡明鎮馬上啟動晶片測試臺,越早拿出資料越好。
“這樣浪費一次試驗費用。”
“沒關係!”許振鳴笑道。
胳膊擰不過大腿!
於是乎,胡明鎮只能笑嘻嘻的把晶片交給助手,立即啟動晶片測試臺。
“3號晶片的製程工藝,我們使用5號純淨水來做介質,鐳射折射率達到理論計算的狀態。光刻機的運動引數也做了細微調整。這次應該效果不錯。”
在等待測試資料的間隙,胡明鎮笑嘻嘻的跟許振鳴介紹實驗過程。
他告訴許振鳴:為了此次試驗,他的團隊工程師一共配比了十二種型號的介質。
其中有六種介質沒上光刻頭就已經被淘汰。1號和2號介質效果不好,只有3號和4號介質取得成功,把1號和2號晶片工程片做出來。
1號和2號工程片的資料已經達到0.36微米的精度,許振鳴其實已經比較滿意。只要按照這種精度來的製造晶片,朱雀系列的cpu就可以立即提高一個檔次。他就是在等胡明鎮的實驗資料,然後開始安排周家偉團隊的研發任務。
四個小時以後,已經是晚上十一點左右,胡明鎮的團隊人員終於拿出3號晶片的測試資料。