鄭振川雖然和精密儀器研究所那邊是熟人,但面對這種事,又在蘇遠山面前,只好笑著點頭道:“是,主要還是看看到底問題出在了哪裡。不過就我個人而言,還是對雙工件臺的思路很看好的。”
“沒錯,雙工件臺技術必定能提大幅提高光刻機效率的。當初我就在想,這玩意將來要是搞出來,再加上最先進的製程……那真的就能拳打尼康,腳踢佳能了。要知道,光刻機這種印鈔機,是真正的贏家通吃啊……”
蘇遠山先安慰了一下曲慧,緊接著便又等到了有點倒時差意味的趙凱東教授——趙凱東的團隊為了配合大洋彼岸的林本堅團隊,他們在遠芯科技園過起了加利福利亞時間。得益於遠芯的寬頻在全國的企業和單位裡都是出了名的快,他們的線上交流倒是很方便。
這邊趙凱東因為是放棄了原本的KBBF晶體,直接轉向稀有氣體——krf方向,因此一開始還是以林本堅為主導的。但隨著研發進度的加快,再加上趙凱東等人“雪恥”的心情,以及……出身自長光所這種“名門大所”與生具來的對技術的敏感,趙凱東的團隊漸漸追上了進度,現在雙方已經談不上誰主導誰,只是雙方負責不同的領域,朝著同一個目標前進罷了。
……
當蘇遠山走出光學實驗室時,外面的天已經陰了下來,頗有下暴雨的意思。於是蘇遠山也就不騎車了,和曲慧邊聊邊往自己辦公室裡那邊走。
“你怎麼解決?”曲慧雙手插兜,慢搖搖地和蘇遠山並肩走著。
“曲慧姐,首先……只要精密儀器廠那邊在搞雙工件臺的技術,那麼原則上遠芯是沒有辦法過多幹涉的。”蘇遠山走出鄭振川的辦公室後才正色道:“這不是官僚也不是給面子的問題,而是遠芯不能用咄咄逼人的態度,就跟個霸王一樣地去質問人家。”
“因為出了問題就找問題然後再解決問題是再正常不過的了,你不能來不來就全盤推翻人家的設計——這是很羞辱人的。”
曲慧便咬了咬唇,瞪了蘇遠山一眼。
蘇遠山心底便一陣好笑。
曲慧之所以有這種心態,完全是被慣出來的——無論是當初EDA時期也好,還是後來轉CAD也好,她一直都是專心負責自己的領域,並在自己的領域內有著說一不二的脾氣和權威。
但隨著身份地位越高,這次去精密儀器廠搞個合作,反倒是處處都感覺掣肘。
“你的意思就是不管了?”
“當然要管,只不過不能這麼激烈。首先……曲慧姐,你來判斷一下,精密儀器廠那邊到底是有心想搞技術,還是一幫人想胡亂搞點錢——這個很重要,是前提。”
“……”曲慧再次咬了咬唇,沉默幾秒後道:“汙衊人的事我還是幹不出來的,雖然廠裡官僚氣息比較重,但不得不說,這還是一家能夠沉下心做研發的企業。”
蘇遠山便笑了:“你看,我們把這個基調定下來就好了。既然是能夠沉下心來搞技術,搞研發,那現在的矛盾主要就集中在解決問題的分歧上。國內在機械設計領域中一向比較薄弱,這次的雙工件臺,說白了有點異想天開的意思——這種技術,理論上是隻會誕生在生產光刻機的企業裡。”
“精密儀器研究所那邊接觸光刻機,只是當初各個單位支援國產光刻機研發的時候有過機會,現在他們願意為了為了國內半導體事業繼續往晶圓廠的需求方面走,這是值得讚揚的好事。”
“所以,先不著急,慢慢來。”