“光刻機突破確實有含金量,我在來之前和老張一起跑申海採訪新芯的時候,順便去了申海華科院光電所的徐至展院士。
問了他對新芯的看法,無論是當著我們面,還是後來我私下找他學生採訪,他們對新芯的光刻機技術都讚不絕口。”
徐至展是院士,此時擔任申海光學精密機械研究所的所長,他雖然不是從事光刻機領域研究,但是鐳射物理裝置研究和光刻機多少沾點邊。
“徐院士說新芯把光刻技術推向了新的高度,是華國企業在這一領域的新突破。
在新芯進入光刻機領域前,華國最先進的光刻機技術要屬燕京那邊的華國科學院光電所研發的光刻機。
他們研發的是i線光刻機,光源波長在365nm,工藝精度最高也就0.35微米,而新芯的製程按照他們的說法已經進入了40nm,中間相差了至少兩代技術差距。”
因為要拍成紀錄片,所以在來之前大家做了大量基礎資料的查閱和相關專家的採訪,他們很清楚新芯的技術突破意味著什麼。
意味著華國和國外的光刻機領域在八十年代被拉開的差距,在這一刻成功實現了逆轉。
&n波長光源的光刻機又叫ArF,如果單純看光源發展歷史的話,光刻機一共經歷了五代:436nm的gline、365nm的iline、248nm的KrF、193nm的ArF和13.5nm的EUV。
&n波長光源的乾式光刻機因為不是主流,所以沒有算在裡面。
如果沒有新芯的話,此時華國最先進的光刻機應該是華國科學院光電所研發的URE2025型iline光刻機,比主流光刻機足足落後代。
說完該男子又嘿嘿一笑,神情中露出一絲不可言狀的意味:“我前兩天不是去的申海嗎?
我有朋友在申海的光電所,他和我說,他們私下本來對新芯怨聲載道,這次新芯利用浸潤法實現了光刻機制程的反超,一下子他們就沒話說了。”
“啊?申海的光電所對新芯怨聲載道?
他們那畢業的研究生和博士不是因為新芯,出去待遇翻了三倍都不止麼?
他們有什麼好怨恨新芯的?”
“呵呵,我聽我朋友說,十五攻堅行動裡的光刻機專案本來是要分給申海光電所,甚至華電科都打算把他們的45所之前搞光刻機的團隊全部遷到申海,和光電所合併,然後一起承擔這個專案。
因為漢芯事件,導致上面對申海的科研環境極其不信任,十五計劃裡整個申海高校和科研機構,只有復旦勉強撈到了一個專案,其他高校和科研機構啥都沒撈到。
光電所出去的研究生和博士待遇是翻了三倍,問題是對光電所的科研人員來說,他們待遇又沒有翻翻,還失去了重大攻堅專案,身邊有能力的同事都被新芯挖走了,剩下的要麼是有職位的領導,甚至中層走的都不少。
要麼就是沒啥本事,靠關係混進來的,不恨新芯才怪呢,新總不把漢芯的皮扒下來,他們也不會接不到十五的攻堅專案了。”
“原來如此,漢芯事件在這上面還有後續,漢芯之後那兩年,整個申海地區高校的分數線都往下降了個十分左右。”
另外一位央視的記者倒是沒有問,為什麼新芯已經實現了40nm工藝製程的光刻機突破,華國的光刻機攻堅專案還會不會繼續。
作為央媽的記者,他在這方面有足夠的敏銳性,別說新芯研發成功的是40nm工藝製程,就算新芯研發了10nm工藝製程的光刻機,華國方面主導的專案攻堅還是會繼續。
一是因為專案立項必須要把錢用完把專案給結了,除非非常特殊,不然不會中止,二是因為新芯的光刻機依然要依靠國外供應商,而且技術也不會免費授權給華國企業,華國有必要研發自己的光刻機技術。
華國在做這個專案立項的時候,那時候新芯已經從尼康手裡買了130nm光刻機技術,並且搞的還不錯,因此華國方面認為,新芯能借助自己的生產線在130nm光刻機站穩腳跟,華國方面實現技術突破後同樣可以藉助華虹、華晶這幫國企站穩腳跟。
因此有新芯這一案例在前,華國非但沒有中止十五計劃中的光刻機專案,反而加大了對這一專案的支援力度,直接放在燕京的華國科學院光電所負責這一專案的研發,由申海微電子負責配合。
“林博士,您好,我是央*視記者陳曉夏,我們有幾個問題想採訪一下您,您可以暢所欲言。”陳曉夏是國際頻道的記者,常年跑外勤,因此來到有明會展中心他倒是沒有什麼感覺,他連南極都跑過,這裡只能說小意思。