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第463章 首臺高階光刻機誕生 (3 / 3)

下午三點。

胡楊按時來到了張瀟的辦公室。

“胡總,我可是一直在等著你來視察工作。咱們微電子裝置怎麼說也是你的嫡系,你可不能區別對待哦。”

張瀟見了胡楊,馬上就大倒苦水。說一千道一萬,還是微電子裝置缺錢。光刻機這玩意的研發本來就是用錢堆起來的,砸錢都不一定成功,但要是沒錢,那就連個念想都沒了。

“張總,你的戲演的也太假了。公司最近一期的融資才結束了多長時間?你不會告訴我你已經全部折騰光了吧?”

胡楊暗暗好笑,張瀟這人很多時候都能拉下臉面,這一點和閆漢章有的一比。

“嘿嘿,我也沒說馬上就要進行新一輪的融資。這不想著先在你這裡掛了號,免得到時候排不上。”

張瀟也不以為意,自己的小心思完全可以大方的說出來。

“行,高科創投基金的投資,有嚴格的內部稽核程式。張總如果什麼時候覺得需要了,可以提前遞交申請。”

高科創投基金現在逐漸走上了正軌,各項管理制度也日趨完善。一些該走的流程肯定要走,這話沒毛病。

張瀟哈哈一笑,站起來說道:“胡總,走,我帶你去看看研發團隊的最新進展。”

胡楊隨即起身,帶著吳馨慧等人,跟上了張瀟的腳步。

“胡總,請看,這是我們研發出來的第一臺高階光刻機的樣機。這臺110nm光刻機,光源採用了光機所的193奈米ArF光源,物鏡是從德國進口的。”

隨著張瀟的講解,胡楊饒有興致看著眼前的這臺投影步進式光刻機。

這一刻,對於國內半導體行業的所有人來說,都具有里程碑式的意義。這也就意味著,國產高階光刻機實現了零的突破,雖然和國外光刻機的技術差距依然很大,但已經讓人看到了希望的曙光。

“張董,你們下一步的打算是什麼?”

胡楊平復了一下有些激動的心情,轉頭看向張瀟。

“我們下一步的工作是,一方面將光刻機的研發繼續向前推進,力爭早日攻克90奈米光刻機並實現量產。另一方面,我們要開始研究浸沒式光刻機的有關技術,希望五年之內能有所突破吧。”

目前,微電子裝置最新研發的110奈米光刻機,尚未實現量產。張瀟打算繼續完善設計和製造,為下一步90奈米光刻機的量產打下堅實的基礎。

至於浸沒式光刻機的技術,那是後話了,要等到攻克了90奈米、65奈米光刻機以後,才會有實際意義,所以暫時還不用太著急。

“張董,沒想到你們的進展這麼快!說實話,我今天看到了這臺110奈米光刻機的樣機,讓我對於國產高階光刻裝置充滿了信心。接下來公司如果在資金方面有困難,我絕對會大力支援的。”

技術的事情胡楊幫不上忙,但他能提供資金的幫助。如果微電子裝置向高科創投基金遞交申請,多了不敢說,100億元以內的資金還是沒問題的。

“哈哈,就等你這句話了。走,咱們再去別的地方轉轉。”

張瀟見自己的目的達到了,心情大好之餘也不廢話,繼續帶著胡楊等人在公司考察。

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